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箱式真空等离子体处理系统GX-V1502

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项目	规格
主机尺寸	1955W x 1580D x 1750H mm
真空腔体尺寸	1020W x 1330D x 913H mm
电极板配置	16 片垂直电极板，15 个处理位置
有效区域	1100W x 615H mm
等离子体电源	10kw-20kw
电极温度	35~95℃，模温恒定控制，待机状态也能保持温度不变，省去预热时间
工艺气体控制	标配： O2、N2：0~5000sccm； CF4：0~400sccm； Ar：0~2000sccm；可选：额外一路工艺气体，流量范围可定制
真空检测	0.01Torr~760Torr
工作气压	0.15~0.3Torr，控制精度 0.2mTorr
人机界面触摸屏	中文界面，模拟图文显示；操作员、工程师权限分级；
真空泵组	选配
型号指示灯	三色指示灯，带报警蜂鸣器
系统重量	~3.5 吨，包含主机、泵组、模温机
空间需求	4000 x 4000 x 2200(H)mm
电源需求	AC380V 三相五线，50Hz/100A，30kW
压缩空气需求	洁净、干燥，0.5~0.8MPa
工艺气体需求	0.3~0.5MPa，纯度>99.9%
厂务冰水需求	20℃，20L/min （模温机采用水冷式需求冰水，风冷式无该项）
抽风系统	>100 立方/min （模温机采用风冷式需求热排风，水冷式无该项）
废气管道	>3 立方/min，中央废气系统，DN50
环境温湿度	20~30℃，30%~70%RH

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