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扬州江都区国兴技术等离子表面处理整体解决方案专家
作者:原创 浏览:2038 发布日期: 2021-04-23
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扬州江都区国兴技术等离子表面处理整体解决方案详解说明如下:第一,首先我们来了解等离子体的基本概述。利用外加电场或高频感应电场使气体导电,称为气体放电。气体放电是产生等离子体的重要手段之一。被外加电场加速的部分电离气体中的电子与中性分子碰撞,把从电场得到的能量传给气体。电子与中性分子的弹性碰撞导致分子动能增加,表现为温度升高;

扬州江都区国兴技术等离子表面处理整体解决方案详解说明如下:

第一,首先我们来了解等离子体的基本概述。利用外加电场或高频感应电场使气体导电,称为气体放电。气体放电是产生等离子体的重要手段之一。被外加电场加速的部分电离气体中的电子与中性分子碰撞,把从电场得到的能量传给气体。电子与中性分子的弹性碰撞导致分子动能增加,表现为温度升高;而非弹性碰撞则导致激发(分子或原子中的电子由低能级跃迁到高能级)、离解(分子分解为原子)或电离(分子或原子的外层电子由束缚态变为自由电子)。高温气体通过传导、对流和辐射把能量传给周围环境,在定常条件下,给定容积中的输入能量和损失能量相等。电子和重粒子(离子、分子和原子)间能量传递的速率与碰撞频率(单位时间内碰撞的次数)成正比。

第二,等离子体处理的的原理是怎样的呢?等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四中状态存在,如地球大气中电离层中的物质。

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第三,等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。

第四,等离子处理技术是等离子体特殊性质的具体应用:等离子处理系统产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。

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第五,等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。通过其等离子表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。

第六,本方案等离子体表面处理装置的组成:等离子体表面处理装置由反应腔体(又称真空腔体)、真空系统、等离子体发生系统、电控系统、进气流量控制系统等组成。考虑到生产操作的简便和效率,被处理材料的边料节约以及该处理装置的性价比,本装置拟考虑采用水平式放置结构。反应腔由真空室、平板式电极组成,是等离子体(Plasma)处理反应的有效空间,待处理物品水平置于反应腔内并可以设计成多层结构便于大批量作业;真空系统由真空阀门、真空泵以及真空管路、真空系统控制执行元件等组成,负责将反应腔内的空气抽至预先的设定值并在工作时维持相应的真空度;考虑到本装置被处理材料要求清洁和活化作用,故本装置的等离子体发生源拟采用波形经过特殊处理的、具有高速震荡功能的等离子体发生源,该系统源为反应腔提供等离子体能量,以激发反应腔内的被反应气体急剧震荡电离,形成所需要的具有清洁能力的等离子体(Plasma);电控系统的作用是按照预设的工艺参数和步骤,智能最优自动控制该装置的工艺流程的全过程,并能自整定维持工艺参数的稳定性;工艺反应气体进气流量控制系统主要由质量流量计和自控电磁阀门组成,其作用是精确控制反应气体的进气量,并维持工作期间所需要的真空度值。

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